inficon真空計，又稱規(guī)，是測量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應(yīng)的變化進行氣壓的測量。在科研和工業(yè)生產(chǎn)中廣泛使用。按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制，可將主要的真空計分為三大類，分別是利用力學(xué)性能、利用氣體動力學(xué)效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計。利用力學(xué)性能的真空計典型的有波爾登規(guī)（Bourdon）和薄膜電容規(guī)；利用氣體動力學(xué)效應(yīng)的典型真空計有皮拉尼電阻規(guī)和熱電偶規(guī)；利用帶電粒子效應(yīng)的典型真空計有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。
inficon真空計的性能表現(xiàn)：
1、高電磁兼容性：接近檢測極限時干擾電子發(fā)射率低，在工業(yè)環(huán)境中仍具有非常高的抗電磁干擾能力
2、大屏幕的模擬/數(shù)字真空顯示：快速趨勢判斷，讀數(shù)準(zhǔn)
3、壓力單位可自行設(shè)定（mbar,hPa,Torr）
4、數(shù)字重校
5、氧化鋁陶瓷薄膜電容傳感器具有優(yōu)異的耐化學(xué)腐蝕性，準(zhǔn)確性高，超長穩(wěn)定
inficon真空計的優(yōu)點：
1、點陣式菜單引導(dǎo)的顯示器用于參數(shù)，傳感器或-般設(shè)定值的簡單操作
2、非常明亮和清楚的顯示器用于運距閱讀儀器顯示的數(shù)據(jù)
3、帶設(shè)點或壓強與時間關(guān)系顯示的條圖顯示器
4、具有USB接口(后板)和USB閃春盤(面板)的數(shù)據(jù)記錄和參數(shù)記錄功能
5、以太網(wǎng)接口
6、提供在線或用USB閃存盤的固件升級功能
7、每個通道具有兩個可調(diào)整延遲時間的可自由定義的設(shè)點
8、高分辯率16位AD變換器