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Crylas 高功率系列激光器產(chǎn)品介紹

1. 公司簡介

Crylas GmbH 是一家位于德國柏林的制造型企業(yè)，專注于開發(fā)和生產(chǎn)固態(tài)納秒脈沖激光器，尤其在高功率紫外（UV）和深紫外（DUV）激光技術(shù)領(lǐng)域有所建樹。

2. 主要產(chǎn)品

Crylas提供的核心激光器產(chǎn)品包括：

高功率納秒脈沖激光器： 提供紫外至深紫外波段的較高單脈沖能量和平均功率輸出。

高功率皮秒脈沖激光器： 在保持較高功率的同時，提供更短的脈沖寬度。

高功率連續(xù)波（CW）激光器： 提供紫外波段的連續(xù)激光輸出。

3. 主要型號 (高功率系列示例)

該系列下具有代表性的三個型號包括：

FQCW266-2000: 高功率連續(xù)波激光器，波長266nm。

FDPL 266-50: 高功率納秒脈沖激光器，波長266nm。

FDPL 213-50: 高功率納秒脈沖激光器，波長213nm。

4. 產(chǎn)品介紹

Crylas高功率系列激光器基于其特有的激光技術(shù)，旨在提供紫外及深紫外波段較高的輸出功率（包括平均功率和單脈沖能量）。這類激光器通常采用二極管泵浦固態(tài)（DPSS）技術(shù)，結(jié)合非線性頻率轉(zhuǎn)換（如倍頻、四倍頻、五倍頻）產(chǎn)生所需的短波長激光。

工作原理： 激光二極管泵浦固體增益介質(zhì)產(chǎn)生基頻紅外光，隨后通過晶體內(nèi)的非線性光學過程（如倍頻）將紅外光轉(zhuǎn)換為可見光或紫外/深紫外光，最終輸出所需波段的激光。

技術(shù)參數(shù) (典型范圍，具體型號各異)：

波長： 常見213nm, 266nm等紫外/深紫外波段。

脈沖寬度 (脈沖型號)： 納秒級 (如 <10ns)。

重復頻率 (脈沖型號)： 單次至數(shù)萬赫茲可調(diào)。

平均功率： 可達數(shù)瓦 (例如266nm CW達2W，脈沖型號平均功率可達數(shù)瓦)。

單脈沖能量 (脈沖型號)： 可達數(shù)十至數(shù)百微焦耳。

光束質(zhì)量： 通常較好（M2 <1.5）。

5. 優(yōu)勢特點

該系列激光器具備以下特點：

特定波長輸出穩(wěn)定： 在紫外及深紫外波段提供相對穩(wěn)定的功率輸出。

工業(yè)適用性強： 設(shè)計考慮了工業(yè)環(huán)境對可靠性和使用壽命的需求。

維護相對簡便： 部分型號采用風冷或無源設(shè)計，集成度高，減少了維護復雜性。

6. 應用領(lǐng)域

Crylas高功率紫外/深紫外激光器適用于多個需要特定短波長光源的領(lǐng)域，例如：

半導體檢測與加工： 用于晶圓檢測、光刻掩模修復、微加工等。

精密材料加工： 應用于脆性材料（玻璃、藍寶石等）切割、鉆孔、表面結(jié)構(gòu)化。

科學儀器與分析： 作為拉曼光譜、熒光光譜、質(zhì)譜等儀器的激發(fā)光源。