影響inficon真空計測量結果準確性的因素有很多。以下是一些主要因素：

　　1、儀器校準：inficon真空計必須進行定期校準，以確保其測量結果的準確性。如果沒有正確進行校準或校準過期，可能會導致測量結果產生偏差。

　　2、漏率：真空系統(tǒng)中的漏率是影響測量準確性的重要因素。漏氣可以通過管道接頭、密封件或材料缺陷等方面發(fā)生。這些漏氣會導致真空度下降，從而影響測量結果的準確性。

　　3、溫度變化：溫度變化會對真空計的讀數(shù)產生影響。真空計通常基于特定溫度范圍內的校準，如果溫度發(fā)生變化，可能會導致讀數(shù)出現(xiàn)誤差。因此，在使用真空計之前，需要確保環(huán)境溫度穩(wěn)定，并考慮溫度補償因素。

　　4、氣體組成：inficon真空計的測量結果可能受到氣體組成的影響。不同氣體的分子大小和性質不同，可能導致在相同真空度下讀數(shù)不同。因此，對于不同氣體組成的系統(tǒng)，需要進行相應的校準和修正。

　　5、污染和沉積：真空系統(tǒng)中的污染物和沉積物可能會影響真空計的測量準確性。這些污染物可以附著在傳感器或測量裝置上，從而干擾測量結果。定期清潔和維護設備可以減少污染和沉積對測量準確性的影響。

　　6、環(huán)境條件：環(huán)境因素如振動、電磁干擾和輻射等也可能對真空計的準確性造成干擾。這些干擾可能導致讀數(shù)波動或錯誤的測量結果。因此，在使用真空計時，需要避免或控制這些干擾源。

　　7、使用方式：操作人員的技術水平和正確使用真空計的方法也會影響測量準確性。操作人員應了解設備的使用說明，并采取適當?shù)牟僮鞑襟E，以確保測量過程的可靠性和準確性。

　　總結起來，inficon真空計測量準確性受到儀器校準、漏率、溫度變化、氣體組成、污染和沉積、環(huán)境條件以及使用方式等因素的影響。為了保證準確的測量結果，需要定期校準儀器、控制漏率、考慮溫度補償、進行氣體特性修正、清潔設備、避免干擾源并正確操作真空計。